(ST)2011年MEMS 产品营收劲扬42%，打破9亿美元规划，与第一名

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  技能使智能手机能够供给方向，或健身追寻器来检测咱们何时跑步，坐着或睡觉。可是，

  制造技能出产。它们类似于房间中的电灯开关，经过触点翻开或封闭在开关中传输信号。在RF

  制造技能出产。它们类似于房间中的电灯开关，经过触点翻开或封闭在开关中传输信号。在

  制造技能出产。它们类似于房间中的电灯开关，经过触点翻开或封闭在开关中传输信号。在RF

  性公司USound宣告进军健康科技职业，将推出彻底适用于磁共振成像兼容耳机和配件的

  前列的半导体公司意法半导体（STMicroelectronics，简称

  代传感器助力消费类移动产品、智能工业、智能医疗和智能零售产品完结功用和功用新腾跃。

  (Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技能制造的小型化机械电子器材（即设备和结构）。

  的运用、典型的微器材、国内外的开展现状及远景进行全面剖析. 在此基础上,论说了

  ）元件的失效机制从本质上和解与之相对应的微观（肉眼可见）元件，具有很大不同并且是共同的。本文评论从各种

  械结构的制备工艺包含光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，一起在机械结构上制备了电极，以便经过电子技能进行操控。

  )的硅芯片，推进完结商业化，并加快Evonetix的首款产品（DNA桌面写入器）的开发。

  9月4日音讯，液晶背光模块厂中光电宣告，已于7月底新设100%持股子公司中光电智能感测，并于9月初完结收买智动

  )环境传感器，Bourns精细传感器(BPS)系列供给的产品分别为三个压力传感器系列与

  、无法运用接连滚压的Roll to Roll办法量产、制造结构杂乱时或许呈现累积差错的现象等等，而这些问题也成为未来要强化

  ）环境传感器，Bourns精细传感器（BPS）系列供给的产品分别为三个压力传感器系列与

  数十年来，振荡器和时钟一直依托石英晶体来构建安稳的参阅频率。晶体在许多运用中表现出十分优异的功用。但十年前，用

  ） 惯性传感器的规划在本质上对运动十分灵敏，可有用检测和处理线性加快、磁航向、海拔和角速率信息。为充分利用惯性传感器的功用潜力，规划者有必要了解整体机械

  器材特征尺度从毫米、微米乃至到纳米量级，触及机械、电子、化学、物理、光学、生物

  ， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械

  ）商场所宣布的最新陈述，供货商InvenSense销售额在 2012年景长了30%，到达1.86亿美元，是「有史以来最成功的

  新创公司」；不过 InvenSense 的成绩表现在 2012年仅排名

  更侧重于超精细机械加工，并要触及微电子、资料、力学、化学、机械学许多学科范畴。

  ）前4大厂依序为德州仪器（Texas Instruments）、意法半导体（STMicroelectronics）、惠普（Hewlett Packard；HP）、博世（Robert Bosch），除惠普为

  Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (

  (Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是跟着半导体集成电路微细加工技能和超精细机械加工技能的开展而开展起来的。

  (Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是跟着半导体集成电路微细加工技能和超精细机械加工技能的开展而开展起来的。

  (Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是跟着半导体集成电路微细加工技能和超精细机械加工技能的开展而开展起来的.电子发烧友为我们供给了翔实的技能知识。

  : Micro Electronic Mechanical System)，而意法半导体(STMicroelectronic)在

  )LPS001WP，该压力感测器成功完结智慧型手机以及其它可携式设备能够确

  )麦克风带来通透明亮清明的音频 中国北京，2010年11月4日 - 欧胜微电子有限公司日前正式发布其下

  ) 技能在电子产品中的位置愈来愈重要，不论是在轿车、工业、医疗或军事上需求用到此类精细的元器材，在信息、通讯和消费性电子等群众的商场，也能够看到快速增长

  传感器出货量将到达5.912亿个，比2009年的5.020亿劲增17.8%。2009年

  是在微电子技能基础上发生和开展起来的多学科穿插的前沿科学研讨范畴,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了

  的发生与开展过程，评论了它所选用的资料和加工技能、该技能触及的各个学科，

  , are systems based on a range of techologies whereby tiny

  ) 的结合供给了或许,这种结合“Top - down”与“Bottom2up”的办法是微米/ 纳米技能的

  的基本原理及其在空间运用的开展概略, 侧重介绍了空间微传感器、微执行器、RF2M EM S、MO EM S、微仪器和微纳卫星的研讨与发展状况。关键词:

  的发生与开展过程，评论了它所选用的资料和加工技能、该技能触及的各个学科，

  是在微电子技能基础上发生和开展起来的多学科穿插的前沿科学研讨范畴,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了